机译:在溅射或原子层沉积的锡底电极上生长的HF_(0.5)Zr_(0.5)Zr_(0.5)O_2薄膜的铁电特性研究
机译:原子层沉积铁电Hf0.5Zr0.5O2薄膜的内场和导电机理研究
机译:底电极对外延HF0.5ZR0.5O2薄膜铁电性的临界作用
机译:单原子层沉积(FePt)_(1-x)Cux薄膜和Pt顶层沉积的FePt薄膜的结构研究
机译:各种氧化物薄膜原子层沉积和热原子层蚀刻工艺的机械研究
机译:四(乙基甲基氨基)和四(二甲基氨基)前体在原子层沉积Hf0.5Zr0.5O2薄膜中铁电性能的比较研究
机译:锡顶电极综合研究原子层沉积铁电HF0.5盎司薄膜