Hot-wire CVD Quantum size effects Nano-crystallite Optical band gap;
机译:射频功率对通过PE-CVD沉积的氢化纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜的结构光学和电学性质的影响
机译:通过RF-PECVD沉积的氢化纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜的光学性质和结晶度
机译:沉积压力对通过HW-CVD沉积的nc-Si:H薄膜的结构,光学和电学性质的影响
机译:使用热重结晶和LPCVD沉积多晶硅作为有源层的薄膜晶体管中热孔引起的退化的比较
机译:研究热生长和远端PECVD沉积的二氧化硅薄膜中的局部原子结构和热历史。
机译:通过PECVD沉积低缺陷密度nc-Si:H薄膜的便捷有效方法
机译:热线CVD沉积的nc-Si:H的热诱导纳米结构和光学变化