high rate Si epitaxy large area deposition mesoplasma chemical vapor decomposition;
机译:通过等离子化学气相沉积高速率和大面积外延硅膜的沉积
机译:等离子体化学气相沉积沉积硅膜过程中X射线散射检测Si纳米团簇
机译:红外激光辅助化学气相沉积法高速沉积YBa_2Cu_3O_(7-δ)高温超导薄膜
机译:(104-0621)高速率的外延Si薄膜的大面积沉积施用于偏镁型CVD
机译:通过快速热化学气相沉积在硅上形成β-碳化硅薄膜的成核,外延生长和表征。
机译:载气对薄雾化学气相沉积法生长刚玉结构外延刚玉结构α-Ga2O3薄膜质量的影响
机译:开镁化学气相沉积的外延Si膜的高速率和广域沉积