IGZO co-sputtering method deposition power SIMS;
机译:用共溅射法研究高迁移率IGZO薄膜
机译:RF磁控掺杂技术沉积Zn1≤XMGXS薄膜结构和光学性能研究
机译:MW-ECR等离子体增强磁控溅射制备的基于SiC基薄膜的连续组成扩散研究
机译:通过抗IZO和GZO或ITO靶标沉积IGZO或ITZO薄膜
机译:栅极分离对IGZO薄膜晶体管行为的影响
机译:直接喷墨印刷与旋涂ZrO2用于溅射IGZO薄膜晶体管的研究
机译:用共溅射法研究高迁移率IGZO薄膜