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鲁健; 吴建华; 赵刚; 王海; 褚家如;
中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,合肥,230027;
Pt薄膜; 底电极; 射频磁控溅射; PZT铁电薄膜; 微机电系统;
机译:射频溅射法制备沉积在PT / Tb诱导层上的高(100)取向PST薄膜
机译:射频磁控溅射法制备高(110)取向BaCeO3基质子传导氧化物薄膜
机译:射频溅射法制备高取向LaNiO3薄膜及其微观结构。
机译:溅射法制备PTFE薄膜的制备与评价
机译:高取向热解石墨(HOPG)上Pt和Pt合金纳米颗粒和薄膜的电沉积和电催化活性。
机译:磁控溅射法制备纳米结构的ZnO / Ag薄膜对氨气检测的快速响应
机译:高电离脉冲磁控溅射法制备Ta薄膜
机译:溶胶 - 凝胶法制备高取向pbTiO3薄膜的合成与显微结构
机译:高取向FePt磁记录介质,使用高取向FePt磁记录介质的热辅助磁记录装置以及高取向FePt磁记录介质的制造方法
机译:高纯铬,由高纯铬制成的溅射靶材,由高纯铬制成的薄膜通过溅射法制造的薄膜及其制造方法
机译:制备高取向腐殖酸薄膜和由其衍生的高导电石墨薄膜的方法
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