分流片对矩形平面磁控溅射阴极磁场的影响

摘要

分流片对磁控溅射阴极的磁场分布有较为重要的影响,对提高阴极的溅射速率、利用率及膜层的均匀性有着重要的意义.该文分析了分流片的大小、形状、位置对磁场形成的影响,总结了分流片在设计中应注意的问题.