半导体生产中掺杂剂的称量系统

摘要

一种半导体生产中掺杂剂的称量系统，它包括：多台电子秤，计算机，打印机，所述的电子秤与计算机之间接串口扩张卡，卡的一端为接口，该接口接电子秤数据传输线，另一端为输出端，该输出端接电脑主机，电子秤与电脑的数据传输采用标准的TCP／IP协议，计算机接带不干胶带的打印机。本系统的优点是：称量准确、快速，可避免不同掺杂剂在称量时产生的交叉污染。