大规模半导体生产中结构化精确维护系统的设计与开发

摘要

随着目前产量的急剧提升，传统的时间为基础的、固定维护任务清单的预防性维护模式已逐渐无法满足生产的需求，非计划停机时间长，维护后设备的性能依然处于不可预测状态，同类设备不同机器间的性能差距大，同一台设备的性能不稳定等等问题都严重制约着工厂产能的进一步扩大。本文通过将国内外各种设备维护方法的研究成果，结合工厂实际，进行了结构化系统设计方面的探索，并在以下方面取得了一定研究成果：
　　 建立了完善的维护数据收集分析过程，整合生产计划、设备性能、人员操作等多方面信息，与多种维护模式相结合，实现仅在合适的时间对合适的设备执行合适的维护的同时，又保证了整个制造系统宏观上的高度可以预测性；提出了以生产为导向的维护计划动态调整机制，使得维护计划最大限度满足生产计划的需求；将设备监测数据引入维护安排流程，从而实现了精确优化每一次具体的维护过程，大幅提高了维护过程本身的时间价值，并融入了人员管理和维护建议项目管理子系统，实现了从数据分析到维护活动之间的无缝连接。

目录

文摘

英文文摘

第一章 绪论

1.1.引言

1.2.国内外研究现状

1.2.1.故障维修(Corrective maintenance)

1.2.2.计划性维护(Planned Preventative Maintenance)

1.2.3.条件基础的预防性维护(Condition-Base Maintenance)

1.3.研究目标和意义

1.4.研究内容及论文结构

第二章 结构化精确维护需求分析

2.1.工厂生产现状分析

2.1.1.极低的停机时间总量目标

2.1.2.设备间性能低差异化(CoV)目标

2.1.3.维护计划停机时间与非计划停机时间的比值目标

2.2.当前维护模式及缺陷分析

2.2.1.维护模式单一

2.2.2.维护管理系统落后

2.2.3.缺乏有效地维护活动过程管理

2.2.4.缺乏维护改进数据支持

2.2.5.缺乏有效地维护人员管理

2.3.基于多方面数据分析的决策机制

2.3.1.设备性能数据

2.3.2.设备故障处理及项目改进信息

2.3.3.生产相关信息

2.3.4.维护过程信息

2.3.5.维护人员信息

2.4.多模式维护体系

2.4.1.时间周期的计划性维护

2.4.2.事件周期的计划性维护

2.4.3.生产任务驱动的未来维护计划调整

2.4.4.条件基础的预防性维护

2.5.基于设备性能的动态维护活动清单

2.6.持续可优化的维护改进过程

2.6.1.维护清单内容改进

2.6.2.维护模式配置改进

2.7.完善的维护人员管理

2.7.1.维护过程基本要求

2.7.2.人员维护技能及培训管理

2.7.3.人员维护结果绩效管理

第三章 系统设计

3.1.关联系统--生产应用报表系统介绍

3.1.1.系统框架

3.1.2.数据接口

3.2.系统架构设计

3.3.系统硬件设计

3.4.设备性能自动追踪系统

3.4.1.系统构架

3.4.2.数据接口

3.5.设备性能数据采集分析模块设计

3.6.维护计划安排模块设计

3.6.1.生产导向维护计划优化子系统

3.6.2.时间周期计划性维护安排子系统

3.6.3.事件周期计划性维护安排子系统

3.6.4.条件基础预防性维护安排子系统

3.6.5.具体维护活动内容清单生成系统

3.7.维护清单管理模块设计

3.8.维护执行过程管理模块设计

3.9.维护信息收集分析模块设计

3.10.改进建议与项目管理模块设计

3.11.维护人员管理模块设计

3.12.设备性能自动追踪系统数据库设计

第四章 系统实现及测试

4.1.计划停机时间/非计划停机时间测试分析

4.2.平均维护耗时

4.3.变异系数

4.4.高负荷状态设备有效利用时间

4.5.维护人员平均认证时间

第五章 总结

5.1.总结

5.2.展望

致谢

参考文献