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李慧玉; 施芸城; 闫永辉; 杨平; 冯贤平;
东华大学;
波多黎各大学;
潘宁放电; 溅射; AIN薄膜;
机译:通过能量滤波磁控溅射技术沉积ALN薄膜的光学性质
机译:RF-溅射沉积Fe / AlN多层薄膜的制备条件及其性质
机译:溅射功率对反应性DC溅射技术沉积AlN薄膜结构和光学性质的影响
机译:通过中和离子束溅射和脉冲激光沉积沉积的n型薄膜透明导电氧化物的电学和光学性质的制备和表征。
机译:两步沉积技术溅射参数对柔性哈氏合金带AlN薄膜生长的影响
机译:RF溅射沉积Fe / AlN多层薄膜的制备条件及其性质。
机译:工艺参数 - 生长环境 - 反应溅射沉积金属(V,Nb,Zr,Y,au)氧化物,氮化物和氮氧化物薄膜的薄膜性质关系
机译:用于沉积压电薄膜的ALN ALN方法,该方法是ALN的压电薄膜
机译:用AlN AlN沉积压电薄膜和AlN的方法
机译:薄膜燃料电池直接甲醇燃料电池的生产方法,涉及使用等离子溅射在基板上沉积多孔碳电极,使用等离子溅射在膜上沉积电极以及将另一电极沉积在膜上
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