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真空阴极电弧沉积碳氮膜的研究

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以氮气为反应气体 ,用真空阴极电弧沉积法沉积了CNx膜 ,并利用金相显微镜、Auger电子谱仪、FTIR及XRD对其进了分析。结果表明 :真空阴极电弧沉积法可以制备含N量高。

著录项

来源
《真空科学与技术学报》 |2001年第4期|329-331|共3页
作者
袁镇海; 付志强; 邓其森; 林松盛; 郑健红; 戴达煌;
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作者单位

广州有色金属研究院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;薄膜技术;
关键词
真空阴极电弧沉积; 氮气; 碳氮膜; 制备; 结构; 化学成分;

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