超高真空陶瓷管内壁镀膜的方块电阻测量

摘要

使用一种新的感应线圈方法对超高真空陶瓷管内壁导电膜的方块电阻进行了测量 ,其优点在于 :不用直接接触膜层就能测量到管内深处不易放置探针的地方的方块电阻 ;可进行在线测量而不破坏管内真空。解决了应用中的难题 。