超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の開発＝セラミックを摩擦材に用いての超高真空中駆動の実現

摘要

ナノテクノロジーや半導体製造技術では、微細な加工や観察を行うためにコンタミネーションの少ない超高真空(10{sup}(-8)Pa）環境が必要とされる。 また、電子顕微鏡や薄膜成長など電子線やイオン線を用いる作業が多いために、試料の位置決めやハンドリングを行うアクチュエータは微細制御可能なだけでなく非磁性であることが求められる。 しかし、現在のところ超高真空に相応してナノメートルオーダの位置決めが可能な非磁性のアクチュエータは存在しない。 そこで、著者らは超音波モータの非磁性と優れた制御性に注目し、超高真空に対応した回転導入器の開発を行っている。