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季振国; 王超; 刘坤;
浙江大学硅材料国家重点实验室;
ITO; Al2O3; 复合膜; 磁控溅射;
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机译:低温法制备的ITO / Ag / ITO透明导电多层膜及其物理性能
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机译:ITO烧结体,ITO透明导电膜及其形成方法(ITO烧结体,ITO透明导电膜及其形成方法)
机译:ITO溅射靶及其制造方法,以及ITO透明导电膜和ITO透明导电膜的制造方法
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