ITO透明导电膜的制备及性能研究

摘要

以金属和无机盐为原料，采用溶胶-凝胶法制备ITO胶体，然后通过提拉镀膜机镀膜。研究了反应控制参数，并利用IR、TEM分析手段对所制胶体粒子的粒度、形貌、成分进行了表征。对ITO膜的性能进行测试，结果表明：薄膜的退火温度为500℃时，其具有较好的透光性和导电性。