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李永良; 王广甫; 马辉; 李唯超; 陈栾; 马芙蓉; 张通和;
北京师范大学分析测试中心;
北京师范大学低能核物理研究所;
磁过滤器; 钛沉积膜; 结构; 真空弧等离子体沉积; 制备; X射线; 电子能谱; 表面形貌;
机译:使用非偏置过滤的阴极真空弧沉积在室温下纵向氧化钛膜的钛氧化钛膜的晶体结构
机译:等离子体增强化学气相沉积合成超薄非晶碳膜的热稳定性,过滤的阴极真空弧
机译:XPS和XAES研究通过脉冲未过滤阴极真空电弧工艺沉积的和生长的并掺有氮的四面体无定形碳膜
机译:通过磁过滤的阴极真空弧沉积沉积在聚甲醛基材上的金刚石碳膜
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:热和等离子体增强原子层沉积的Al2O3膜的椭偏和XPS比较研究
机译:使用非偏置过滤的阴极真空弧沉积在室温下剪裁氧化钛膜的氧化钛膜的晶体结构
机译:通过过滤碳真空电弧沉积的超薄类金刚石碳膜
机译:真空弧蒸气沉积方法,真空弧蒸气沉积设备以及使用真空弧蒸气沉积方法制造的薄膜和物品
机译:用于真空膜沉积设备的防粘板,制造真空膜沉积设备的防粘板的方法,真空膜沉积设备和真空膜沉积方法
机译:等离子体真空弧源阴极点运动轨迹的控制方法及等离子体真空弧源装置
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