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真空退火对LiF和CaF_2薄膜结晶性能的影响

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研究了真空退火对玻璃衬底上热蒸发沉积的LiF和CaF2 薄膜的结晶性能的影响。X射线衍射分析结果表明 ,在4 2 0℃温度下 ,随着退火时间的增长 ,LiF薄膜的结晶状况明显改善 ;在 4 6 0℃温度下 ,随着退火时间的增长 ,CaF2

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来源
《真空科学与技术学报》 |2002年第2期|146-148|共3页
作者
万媛; 李德杰;
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作者单位

清华大学电子工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延 ;
关键词
真空退火; 氟化锂; 氟化钙; 场发射显示器; LiF薄膜; CaF2薄膜; 结晶性能; X射线衍射; 电子传输层;

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