金属/石墨界面扩散反应的AES研究

摘要

利用扫描俄歇微探针的深度分析和线形分析 ,研究了石墨与金属Ti,Cr之间的界面状态和相互作用。研究结果表明 ,样品经真空热处理后 ,在Ti/石墨、Cr/石墨薄膜界面上发生了界面扩散和化学反应 ,生成了TiC和Cr3 C2 等金属碳化物物种 ,促使Ti。