高频辅助溅射沉积及氩气压对Co／Cu磁性多层膜结构和性能的影响

摘要

磁控溅射制备薄膜时，工作气体氩气的压强是一个非常重要的参量，氩气压的高低直接影响薄膜的结构形态，这在制备超薄多层膜过程中显示更为重要。