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软磁性多层件沉积设备、制造磁性多层件的方法和磁性多层件

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摘要

软磁性材料多层件沉积设备包括位于真空运输室(3)的圆形内部空间中的大量基板载体(11)的圆形布置。在操作中，基板载体(11)经过处理站(17A、17B)。处理站(17A)中的一个具有由第一软磁性材料组成的溅镀靶(T

1. 软磁性多层件沉积设备、制造磁性多层件的方法和磁性多层件 [P] . 中国专利： CN110785825A . 2020-02-11
2. 单件磁性设备和所述单件磁性设备的制造方法 [P] . 中国专利： CN102112271B . 2014.11.26
3. Manufacturing method and a manufacturing method of a multilayer ferrite chip component of the magnetic ferrite [P] . 日本专利： JP3696016B2 . 2005-09-14

机译：磁性铁氧体的多层铁氧体芯片零件的制造方法和制造方法
4. ELECTRICAL PART COMPOSED OF ELECTRICAL STEEL SHEET WITH MULTILAYER FILM HAVING EXCELLENT FILM ADHESION AND SATISFACTORY MAGNETIC PROPERTY, AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME [P] . 日本专利： JP2008069412A . 2008-03-27

机译：具有优异膜附着力和令人满意的磁性能的多层膜的电工钢板的电气零件及其制造方法
5. Method of manufacturing a multilayer magnetic body parts [P] . 日本专利： JP3138776B2 . 2001-02-26

机译：多层磁性零件的制造方法