SIMS在半导体生产中的应用

摘要

介绍ＳＩＭＳ分析技术在半导体生产中的几个典型应用实例：在材料分析方面的应用－－－鉴别杂质成分；在工艺分析方面的应用－－了解工艺情况；在解剖分析方面的应用－获得器件内部组成成分。以此说明ＳＩＭＳ分析技术在半导体生产中的重要性。