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升高模式扫描电容显微镜

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分析了升高模式扫描电容显微镜(LM-SCM)的工作原理,得出了像的对比度正比于样品表面电容梯度分布,且在一定针尖-样品模型下,也可得到样品表面的电容分布.利用LM-SCM研究了金电极的表面电容梯度分布,其横向分辨率优于50 nm,显示出其在纳米电子学中的巨大应用前景.

著录项

来源
《真空电子技术》 |2002年第1期|23-25|共3页
作者
束开俊; 侯士敏;
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作者单位

安徽中医学院物理系,安徽,合肥,230000;

北京大学,电子学系,北京,100871;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子光学仪器;
关键词
扫描电容显微镜; 升高模式; 电容梯度;

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