使用扫描力显微镜测量表面电容

摘要

叙述了两种类型（接触模式和非接触模式）扫描电容显微镜的工作原理，并叙述了不同类型扫描电容显微镜的应用领域。接触模式扫描电容显微镜可以得到样品形貌像、电容像和载流子密度像，非接触模式扫描电容显微镜可以得到样品形貌像、电容梯义像和分布像。