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CVD金刚石在电真空器件中的应用

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摘要

介绍了化学气相沉积(CVD)金刚石膜应用于电真空器件夹持杆及输能窗方面的研究进展,和国外对CVD金刚石封接的几种技术解决方案以及国内CVD金刚石膜金属化及封接方面的研究情况.

著录项

来源
《真空电子技术》 |2009年第4期|27-3135|共6页
作者
李新宇; 郭辉; 刘征; 高陇桥;
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作者单位

北京真空电子技术研究所,北京,100016;

河北激光研究所,河北,石家庄,050081;

北京真空电子技术研究所,北京,100016;

北京真空电子技术研究所,北京,100016;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
CVD金刚石膜; 电真空器件; 封接;

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