高能离子辐照引起薄膜附着力的增强及其界面物理化学效应

摘要

在核阻止本领为主的能区范围内(十到几百千电子伏),离子注入或轰击会引起原子混合,以改善不同材料的界面之间的结合,这已为大家所熟知。近年来发现,高能离子辐照在电子阻止本领为主的条件下,同样能够改善材料界面之间的结合强度。由于电子阻止作用诱发的界面结合强度变化的机理与核阻止作用不同,对此现象的研究不仅涉及核物理基础、材料科学、表面与界面物理化学等学科的广泛问题,而且对提高薄膜的可靠性、寿命,开拓薄膜的应用领域具有重要的实际价值。讨论了近年来高能离子辐照引起界面物理化学变化的实验、理论研究的结果和进展。