四极质谱气体定量分析的实际应用

摘要

介绍四极质谱定量分析方法的典型应用实例。表明它确实能为科研与生产提供有价值的定量数据。介绍了器件的质量保证诊断分析和吸气剂实际吸气效果的评价分析。以表格的形式列出了各种实测结果。