用幕墙玻璃镀膜生产线大面积制备ITO膜

摘要

通过对幕墙镀膜生产线的改造，用矩形平面磁控溅射靶大面积生产氧化铟锡（ＩＴＯ）膜，并对其主要工艺参数介绍了一些浅显的看法。