中频孪生靶非平衡磁控溅射制备Ti/TiN/Ti(N,C)黑色硬质膜

摘要

利用自制的等离子体增强型渗注镀复合处理设备上的非平衡磁控溅射功能,在不同硬度基底上制备了Ti/TiN/Ti(N,C)多层复合膜.膜呈深黑色,表面光滑平整,可见光区反射率在8.2%～10.2%之间,亮度L*=38.01,沉积速率约为1.21μm/h.膜的硬度测试结果受基底影响较大,YW2硬质合金基底上制备0.85 μm厚的黑色硬质膜显微硬度Hv(25g)=2 936.膜的结合力不高,有待进一步优化工艺加以解决.