首页> 中文期刊> 《真空与低温》 >MgO二次电子发射功能薄膜的制备方法

MgO二次电子发射功能薄膜的制备方法

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

综述了具有二次电子发射功能的MgO薄膜的主要制备方法,包括电子束蒸发、磁控溅射、溶胶-凝胶、分子束外延和脉冲激光沉积法.阐述了各种方法在制备MgO薄膜方面的优点和不足,讨论了不同的制备方法对MgO薄膜结品取向、表面形貌等性质的影响.分析表明,利用磁控溅射法制备MgO薄膜可获得较高的二次电子发射率.

著录项

来源
《真空与低温》 |2009年第4期|187-192|共6页
作者
李晨; 罗崇泰; 王多书; 龙建飞;
展开▼
作者单位

兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
MgO薄膜; 二次电子; 磁控溅射; 结晶取向;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 纳米MgO晶体制备及其二次电子发射系数理论研究 [J] . 韦海成 ,许亚杰 ,肖明霞 . 液晶与显示 . 2017,第006期
2. Al掺杂MgO保护层对二次电子发射系数的影响 [J] . 邓江 ,曾葆青 . 电子科技大学学报 . 2015,第003期
3. 离子轰击 MgO 薄膜二次电子发射的研究 [J] . 李雅娟 ,陈学康 ,王骥 . 真空与低温 . 2013,第003期
4. 荫照式等离子体显示器中Ne-Xe混合气体下MgO薄膜二次电子发射系数研究 [J] . 况亚伟 ,朱笛 ,崔渊 . 常熟理工学院学报 . 2013,第002期
5. 第一性原理研究PDP放电单元MgO保护层各种空缺对二次电子发射系数的影响 [J] . 李巧芬 ,屠彦 ,于金 . 真空科学与技术学报 . 2009,第6期
6. MgO/Au复合薄膜的表面形貌及其二次电子发射特性的研究 [C] . 李洁 ,胡文波 ,华星 . 中国电子学会真空电子学分会第二十届学术年会 . -1
7. MgO二次电子发射特性及薄膜制备技术 [A] . 步庆杰 . 2010

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号