新型可调谐的微环滤波器的制作与性能测试

摘要

基于绝缘体上硅(SOI)制作了单环及双环滤波器,并且对其滤波特性进行研究的同时分析了光耦合系数对滤波器输出特性的影响.针对倏逝波耦合结构较弱的调谐能力,提出了马赫—曾德尔干涉仪(MZI)耦合器的改进结构.微环腔长均为1218μm的单环和双环滤波器,对于单双环,当电极功率分别在18～37 mW和20～29 mW范围时,可实现滤波器从欠耦合—临界耦合的调谐,且双环滤波器的中心波长在直通端电极功率0～26 mW范围移动了1 nm,相当于一个自由频谱宽度.