耐高温HTCC无源振动传感器设计与仿真研究

摘要

提出了一种高温共烧陶瓷(HTCC)无源振动传感器,传感器可在超高温环境下工作,通过无线非接触测量原理实现振动参数的在线测量.通过MATLAB软件对振动传感器的结构参数进行仿真,利用ANSYS Workbench仿真软件对敏感结构进行建模、静态分析、模态分析和热力学性能分析.结果表明:传感器敏感结构在0～30 gn内能够正常工作;模态仿真一阶频率为1991.4 Hz,与谐响应仿真基本一致;在25～1000°C内,传感器灵敏度随温度升高而增大,1000°C时的灵敏度为0.114 kHz/gn,传感器为超高温环境下振动参数的稳定测量提供了新思路.