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微系统技术（连载七）——模拟和计算

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简要介绍微系统模拟和有限元计算方法。

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来源
《传感器与微系统》 |1996年第4期|59-61|共3页
作者
张光照;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH－39;
关键词
微系统; 模拟; 有限元; 计算; 微机械器件;

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