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陈筠菲; 漆明净;
北京航空航天大学能源与动力工程学院;
北京100191;
加州大学伯克利分校机械工程系;
美国加州伯克利94720—1740;
微驱动器; 高阶振动; 自激振动;
机译:通过基于MEMS的自感应压电微悬臂的自激振动操作的静电场传感器
机译:使用SOI晶片制造用于硬盘驱动器的静电跟踪微驱动器
机译:内部实验装置研究基于双微悬臂梁的静电微驱动器的动态驱动
机译:由传感器/执行器集成压电微悬臂的自激振动驱动的静电场传感器
机译:带有新型静电角垂直梳状驱动器的MEMS扫描微镜。
机译:用于慢性体内记录的微驱动器阵列:驱动器制造
机译:平行板静电微驱动器的全间隙跟踪系统
机译:用于垂直驱动的静电梳状驱动器。
机译:电气绝缘的移动部分和具有组合驱动电路的静电型微执行器,尤其考虑到静电型微执行器的功能,即在磁记录磁盘驱动器中的二次读/写执行器
机译:带有旋转静电微驱动器的光学微开关
机译:平衡微设备和旋转静电微驱动器
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