基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析

摘要

条纹处理是微位移测量系统的关键,从条纹去噪入手,分别介绍了去噪装置、判向变频系统及条纹的细分方法,有效地解决了传统系统中由于噪声、位移方向误判等因素造成的错误计数,提高了系统测量的准确度.同时对系统测量准确度进行了深入分析.