基于线阵CCD的非接触微位移测量系统研究

摘要

随着半导体光电器件CCD的快速发展，CCD技术被广泛地应用在测量领域，尤其是在微小位移方面的测量。微位移测量已经广泛地应用在工业领域，提高此类测量的精度可以提高生产效率、减少生产的次品率、降低生产成本。因此，微位移的研究具有重要意义。
　　本文研究了基于线阵CCD和激光三角法的微小位移测量系统。首先，介绍了光三角测量法和激光成像的相关原理，在此基础上，设计了激光光束准直扩束系统和成像系统，为了提高测量精度，采用双远心光路系统作为光学成像系统，成像效果达到衍射极限；其次，对线阵CCD进行了相关的介绍，包括CCD驱动电路和视频信号处理电路系统；最后，对系统进行了简要的精度分析。