CMOS SnO2气体传感器模型与热仿真

席彩红; 刘肃

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为了分析CMOS SnO2气体传感器的工作,有必要建立合适的模型,采用晶粒边界的肖特基势垒模型和固体表面对气体的Freundlich等温吸附很好地解释了SnO2的电导与检测气体体积分数工作温度之间的关系,利用ANSYS 7.0对实际设计的传感器进行了热仿真,这便于在CMOS后加工工艺中很好地对其控制.

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来源
《传感器与微系统》 |2008年第4期|71-73|共3页
作者
席彩红; 刘肃;
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作者单位

兰州大学,物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000;

兰州大学,物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
SnO2气体传感器; 肖特基势垒; Freundlich等温吸附;

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