减薄抛光对钽酸锂晶体热释电系数影响研究

摘要

钽酸锂(LT)是一种优良的热释电材料,可以制作成高性能的热释电探测器.由于探测器的电压响应和探测率与红外敏感单元的厚度呈反比,所以对钽酸锂晶体的减薄成为器件成败的关键因素.采用化学机械抛光方法制作出厚度为30 μm的超薄钽酸锂晶体,并使用电荷积分法配合计算机自动测试系统,对不同厚度和表面粗糙度的晶体热释电系数进行了测试和计算.测得最终制备的晶体的热释电系数达到了204 μC·m-2K-1,显示出良好的热释电性能.