基于环形微热板的ZnO微气体传感器设计

摘要

提出一种新型的设有环形结构微热板的硅基ZnO微气体传感器.利用ANSYS软件,将环形电极结构与传统的蛇形结构进行温度分布的模拟仿真,发现该结构能供给传感器更高的温度且中心温度分布均匀,进而解决了现有传感器功耗大的缺点.通过对RF磁控溅射ZnO薄膜的工艺摸索,得出了适宜作气敏薄膜的制备参数.该传感器在250℃下对(200～1 000) ×10-6CH4气体有很好的响应.