面向IC封装的两自由度高速精密定位系统

摘要

为弥补传统滚珠丝杠式两维驱动xy精密定位平台在速度和加速度提高上存在的不足,提出一种基于直线音圈电机直接驱动,采用新型弹性解耦机构的高速高精度xy定位平台.系统探讨了该装置的动态设计方法,在此基础上,加工生产出xy精密定位平台样机一套.通过对样机进行性能测试,结果表明,xy定位平台具有很高的速度、加速度和精度,能够适应当前IC封装业发展对高速高精度的要求.