微电子封装设备精密定位系统的分析

摘要

根据微电子封装设备定位平台高速高精度的特点，本文讨论精密定位系统中工作台机构形式、驱动方式、运动控制器、实时检测等关键技术和国内外现状。为研发新型微电子封装高精密定位系统提供参考。