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生长温度对氧化锌薄膜场发射性能的影响

         

摘要

采用两种化学沉积法相结合的方法在不同温度环境中制鲁团簇状纳米氧化锌薄膜.并分析薄膜的结构和表面形貌.在高真空条件下采用二极管结构对薄膜进行场发射性能测试,结果表明生长温度对氧化锌薄膜场发射性能的影响较为明显.同时证明在常压、100℃环境下也能制备出优良的场致发射阴极材料.

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