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Sb掺杂SnO2·X膜的制备及热电性能

             

摘要

在500℃石英玻璃管基质上,化学气相沉积法制备Sb掺杂氧化锡SnO2*X膜.研究了元素掺杂量、镀膜温度和退火处理对电阻温度特性的影响.应用实验结果表明,SnO2*X膜热效率高,功率密度达到42W*cm-2.

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