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宁兆元; 张燕陵;
不详;
微波多极场; 等离子体; 镀膜;
机译:磁多极约束下低压微波等离子体中电子的ECR加热维持机理
机译:ECR辅助微波等离子体氮化处理对FCVA沉积超薄ta-C膜在高密度磁存储应用中微观结构特性的影响
机译:低压ECR微波等离子体应用于SiO2薄膜PECVD的整体模型
机译:等离子体封闭条件对多极ECR等离子体反应器中离子影响的实验研究
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:间隙模式多极等离子体场的纳米级干涉图样
机译:在甲烷的分布电子回旋共振激发的多极微波等离子体中沉积并转变为粉状等离子体的方法
机译:ORNL微波ECR多尖峰等离子体离子源的特性和潜在应用。
机译:用于在电子回旋共振(ECR)领域中创建由微波能量激发的等离子体的方法和装置,以实现表面处理或覆盖层的应用
机译:微波等离子体处理表面和材料的方法需要产生微波激发等离子体传导微波的波导,并使等离子体运动的场结构适应规定的行程
机译:ECR方法和装置,用于在电子回旋共振ECR域中产生微波能量激发的等离子体,以进行表面处理或在丝状元件周围进行涂层
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