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习丁;
无;
椭圆对称光谱法; 电子回旋共振; 等离子体; 工艺;
机译:用于等离子体浸没离子注入和沉积工艺的微波ECR等离子体源的改进
机译:ECR辅助微波等离子体氮化处理对FCVA沉积超薄ta-C膜在高密度磁存储应用中微观结构特性的影响
机译:ECR等离子体在光半导体工艺中的应用
机译:镜像限制型ECR等离子体溅射和微波辐射在结晶高k材料薄膜的低温合成中的应用
机译:ECR等离子体在LSI多层布线工艺中的应用研究
机译:微波等离子体沉积工艺中硼诱导金刚石薄膜的形貌转变
机译:ORNL微波ECR多尖峰等离子体离子源的特性和潜在应用。
机译:电子回旋共振(ECR)等离子体蚀刻工艺和ECR等离子体蚀刻设备
机译:用于在电子回旋共振(ECR)领域中创建由微波能量激发的等离子体的方法和装置,以实现表面处理或覆盖层的应用
机译:功能化聚合物的工艺,entrecruzarlos的工艺和desentrecruzarlos的工艺
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