短波段光学薄膜

摘要

本文对真空紫外－软Ｘ光短波段区域的多种极为重要的光学元件如高反射膜镜、光谱色散器件和光谱滤光片等作了较全面地介绍。除较详细的介绍了他们的制备技术外，对于他们光谱透射与反射性能的测量方法与结果也作了较全面地叙述。