声明
第1章 绪 论
1.1本课题研究的目的及意义
1.2 国内外研究现状与本课题技术难点分析
1.2.1 国内外研究现状
1.2.2 本课题技术难点分析
1.3 薄膜的制备及表征技术概况
1.3.1 薄膜制备技术
1.3.2 薄膜性能的表征
1.4 本论文的主要研究内容
第2章 薄膜材料性能研究
2.1 薄膜材料的选取及光学常数计算理论
2.1.1 薄膜材料的选取
2.1.2薄膜光学常数的计算理论
2.2 SixGe1-x混合薄膜的研究
2.2.1 Ge混合比例的研究
2.2.2 沉积速率的研究
2.2.3 基底温度的研究
2.2.4 降低SixGe1-x薄膜非晶缺陷态吸收的研究
2.3 SiO薄膜的研究
2.3.1 沉积速率的研究
2.3.2 基底温度的研究
2.3.3 离子束流的研究
2.4 低吸水MgF2薄膜的研究
2.4.1 沉积速率的研究
2.4.2 降低MgF2薄膜水吸收的研究
2.5 低吸收保护膜的研究
2.5.1 旋涂技术的研究
2.5.2 低吸水固化技术研究
2.5.3保护膜阻水性能研究
2.6 本章小结
第3章 宽光谱高透过率膜系结构设计
3.1 薄膜设计理论
3.1.1 薄膜特征计算矩阵
3.1.2 Busmeister线性规划模型
3.1.3 对称膜系等效层理论
3.2 膜系结构设计
3.2.1 增透膜结构设计
3.2.2 保护膜厚度设计
3.3 低膜厚敏感度膜系结构优化
3.3.1 膜厚敏感度分析
3.3.2 低膜厚敏感度评价函数构建
3.4 本章小结
第4章 薄膜制备技术研究
4.1 增透膜制备技术研究
4.1.1系统控制参数设定
4.1.2 增透膜沉积工艺
4.1.3 MgF2薄膜破损机理研究
4.1.4过渡层技术提高MgF2薄膜附着力的研究
4.2 保护膜厚度控制研究
4.3 薄膜制备工艺流程
4.4 光谱性能测试
4.5 本章小结
第5章 薄膜耐环境性能测试及分析
5.1 薄膜耐摩擦性能测试
5.2 薄膜耐溶、耐擦拭性能测试
5.3 薄膜耐高温性能测试
5.4 薄膜耐低温性能测试
5.5 薄膜耐太阳辐射性能测试
5.6 薄膜耐雨淋性能测试
5.7 薄膜耐砂尘性能试验
5.8 薄膜耐盐雾性能试验
5.9薄膜耐霉菌性能测试
5.11 测试结果总结
第6章 总结与展望
6.1 论文主要工作
6.2 创新点
6.3 存在的问题及工作展望
参考文献
攻读博士期间发表的论文及参加的科研项目
致谢
长春理工大学;
