8MHz射频容性等离子体的功率沉积和电子密度模拟

摘要

容性等离子体(Capacitively Coupled Plasma,CPP)即E型放电等离子体,被广泛应用于半导体器件制造工艺.在容性等离子射频源中,当电磁波的波长与腔体尺寸接近时,等离子体密度会在电磁波的作用下变得很不均匀.因此,模拟8 MHz的电磁波在激励源电压为220 V时的功率沉积和电子密度,最终得到了比较理想的结果.由于以往技术的局限,人们习惯于使用频率为13.56 MHz的电磁频率,而通过模拟降低了激励电压,得出了优化容性等离子体的功率沉积和电子密度,且计算结果与实验室结论非常接近.