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多晶硅太阳电池片生产中的管式PECVD研究

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摘要

本文介绍了等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备生成SiNx减反膜和H钝化的机理,并将PECVD技术应用于太阳能电池的工业化大生产中,分析了PECVD产品的异常现象及常用处理方法.

著录项

来源
《自动化技术与应用》 |2015年第2期|85-8796|共4页
作者
邱燕;
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作者单位

陕西国防工业职业技术学院;

陕西西安710300;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类太阳能利用;
关键词
PECVD; 钝化; 太阳电池; 多晶硅;

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