polysilicon morphology over-etch sensitivity to imperfections;
机译:通过片上测试对多晶硅膜进行微机械表征
机译:通过片上测试对多晶硅膜进行微机械表征
机译:多晶硅膜的整体弹性:对多晶硅形态学影响的统计研究
机译:使用凸起测定多晶硅薄膜力学性能
机译:凸出测试在测量薄膜的机械性能中的用途。
机译:通过片上测试对多晶硅膜进行微机械表征
机译:通过片上测试对多晶硅膜进行微机械表征
机译:超低压力压痕对金刚石和类金刚石薄膜的力学性能测试。