MEMS polysilicon film on-chip test over-etch variation particle filtering reduced-order modeling;
机译:通过片上测试对多晶硅膜进行微机械表征
机译:通过片上测试对多晶硅膜进行微机械表征
机译:片上静电致动弯曲测试,用于在微观尺度上表征多晶硅的机械性能
机译:利用芯片测试和电子显微镜研究多晶硅结构膜的疲劳和磨损
机译:静电驱动多晶硅微机械装置的表征和建模。
机译:通过片上测试对多晶硅膜的力学和几何特性进行统计研究
机译:通过片上测试对多晶硅膜进行微机械表征
机译:用拉曼光谱和透射电子显微镜表征多晶硅薄膜:比较研究