飞秒激光辐射诱导金属表面微纳结构研究

摘要

通过1 kHz的飞秒脉冲(脉宽130 fs,中心波长800 nm)对厚度为60μm的不锈钢65Mn表而进行飞秒微加工,通过拟合得到65Mn的消融阈值为0.5 J·cm-2.研究了飞秒激光作用下表面形成的多种微结构,其中包括纳米孔及纳米柱状物.同时讨论了激光能量和作用脉冲个数对微结构形成的影响.随着周期波纹结构的形成,发现在各种能量和脉冲个数条件下,周期结构的周期约为人射脉冲的波长.相同的激光功率下,在不同加工速度和加工次数下对不锈钢进行表面微加工,得到了规则的圆孔阵列结构.